開機前準備
檢查設備連接：確認水源、氣源、電源連接正常，各類管道無泄漏，各氣體閥門處于關閉狀態(tài)。
檢查真空系統(tǒng)：查看真空泵油位、管路連接及接口密封是否良好。
開機操作
打開設備總電源開關，啟動控制系統(tǒng)，待設備自檢完成，各指示燈顯示正常。
打開工作氣體閥門，調(diào)節(jié)氣體流量至設定值，并通過氣體質(zhì)量流量控制器確認流量穩(wěn)定。
啟動加熱系統(tǒng)，按照工藝要求設定加熱溫度，等待加熱元件和反應腔室升溫。
打開真空泵，在設備升溫過程中開啟初級泵對真空腔室進行預抽氣，使腔室壓力降至設定范圍。
當腔室溫度達到設定值且壓力穩(wěn)定后，進行工藝配方參數(shù)設定，包括沉積氣體種類、流量、通斷時間、反應溫度等。
啟動沉積程序，觀察設備運行狀態(tài)，如壓力、溫度、流量等參數(shù)是否實時變化正常。
關機操作
當工藝沉積過程完成后，停止通入反應氣體，繼續(xù)通入吹掃氣體一段時間，以清除反應殘留。
等待腔室溫度降至安全范圍(一般為50-100℃)，可根據(jù)工藝要求在控制系統(tǒng)中設定降溫時間。
關閉加熱系統(tǒng)、工作氣體閥門，停止各氣體供應。
關閉真空泵，關閉設備控制系統(tǒng)，關閉總電源開關。
對設備進行清潔和維護，記錄本次操作相關參數(shù)和情況，以便后續(xù)參考。
通過以上詳細步驟，能夠正確操作ALD原子層沉積設備，確保設備正常運行，并獲得高質(zhì)量的薄膜沉積效果。
更新時間：2025-03-14
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